3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀是一種高精度的工件表面粗糙度 、輪廓測(cè)量分析儀器。
3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀的輪廓分析包括兩種分析方法:
A、原始輪廓分析，是指沒(méi)經(jīng)過(guò)濾波處理及直線校正的實(shí)際輪廓,我們可以自己選擇校正直線來(lái)調(diào)整圖型，分析輪廓。具體方式見使用說(shuō)明。
B、輪廓誤差是指濾除了粗糙度信號(hào)，并以分析起點(diǎn)和分析終點(diǎn)連線為基準(zhǔn)線的工件表面加工形狀，包括凸度、凹度、直線度等，我們可以通過(guò)參數(shù)選項(xiàng)里的輪廓濾波來(lái)選定輪廓濾波的切除長(zhǎng)度分析圖形的每一點(diǎn)測(cè)量值是指采用較小二 乘法進(jìn)行了整個(gè)測(cè)量圖形傾斜校正后,在評(píng)定長(zhǎng)度內(nèi)每一點(diǎn)與零點(diǎn)的相對(duì)值。我們可以在原始測(cè)量圖形上點(diǎn)擊工具欄的分析選擇選項(xiàng),通過(guò)鼠標(biāo)移動(dòng)來(lái)選擇分析范圍,在分析圖形上,我們可以通過(guò)鼠標(biāo)移動(dòng)來(lái)看每一點(diǎn)的測(cè)量值，及離分析起點(diǎn)的距離。形狀誤差P t值是指評(píng)定長(zhǎng)度內(nèi)的較高點(diǎn)與較低點(diǎn)的差值。
3D光學(xué)非接觸輪廓粗糙度儀操作步驟：
1、將樣品放置在夾具上，確保樣品狀態(tài)穩(wěn)定；
2、將夾具放置在載物臺(tái)上；
3、檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲，確認(rèn)儀器狀態(tài)；
4、使用操縱桿調(diào)節(jié)三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋；
5、完成掃描設(shè)置和命名等操作；
6、點(diǎn)擊開始測(cè)量（進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會(huì)）；
7、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點(diǎn)擊“去除外形”，采用默認(rèn)參數(shù)，點(diǎn)擊應(yīng)用獲取樣品表面粗糙度輪廓；
8、進(jìn)入分析工具模塊，點(diǎn)擊參數(shù)分析，直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù)，點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)可更換參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)，增刪參數(shù)類型；
9、如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù)，則需提取剖面線；
10、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點(diǎn)擊“提取剖面”圖標(biāo)，選擇合適方向剖面線進(jìn)行剖面輪廓提??；
11、進(jìn)入分析工具界面，點(diǎn)擊“參數(shù)分析”圖標(biāo)，點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)，勾選所需線粗糙度相關(guān)參數(shù)，即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。